OX400-5-N-T-E-H低濃度氧化鋯氧分析儀

時(shí)間： 2013-12-26　

OX400-5-N-T-E-H低濃度氧化鋯氧分析儀

OX400低濃度氧化鋯氧分析儀：

OX400-5-N-R-E-H、OX400-5-N-T-E-H、OX400-5-A-T-E-H、OX400-3-A-T-E-H

橫河電機(jī)最新推出的氧分析儀OX400，是公司在該技術(shù)的長期經(jīng)驗(yàn)積累和優(yōu)秀業(yè)績基礎(chǔ)上研發(fā)出來的。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400的氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積專利技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這樣不僅預(yù)防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長壽命。
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制

用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量

測(cè)量氧氣濃度，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸

特性：

使用壽命長，響應(yīng)速度快
由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積專利技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍

圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體，確保高速響應(yīng)

高性能和高可靠性
即使在低氧濃度下，仍具有極高的精度和線性

在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

內(nèi)置功能和多種自診斷功能
自帶多選擇器，自動(dòng)量程，特定量程以及泵開/關(guān)功能

提供多種自診斷功能，以檢測(cè)故障，如加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤

出眾的維護(hù)性
可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器

小型輕量，易于安裝

規(guī)格：

測(cè)量對(duì)象	惰性氣體中的氧氣濃度 （易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測(cè)量系統(tǒng)	氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法	泵式，抽提式等
樣氣條件	流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器） 溫度: 0~50℃（無結(jié)露） 濕度: 無結(jié)露 壓力: 0~300PaG 最大容許壓力: 30kPaG
測(cè)量量程	0-10ppm O2至0-100vol% O2
輸出量程	自動(dòng): 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默認(rèn)）其他: 可設(shè)為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整數(shù) 固定: 設(shè)為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100% 部分: 可設(shè)置下限值或上限值
模擬輸出	2路輸出， 一次: 4～20mA DC（最大負(fù)載電阻: 550Ω） 二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC（負(fù)載電阻: 10kΩ或更大）
接點(diǎn)輸出	報(bào)警輸出2點(diǎn): 錯(cuò)誤接點(diǎn)，O2濃度報(bào)警接點(diǎn) 指定量程范圍輸出1點(diǎn): 接點(diǎn)輸出 多選擇器（選配件）: 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出
接點(diǎn)輸入	1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷	錯(cuò)誤（故障）: 傳感器錯(cuò)誤，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開，設(shè)備溫度錯(cuò)誤，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止 報(bào)警（警告）: 加熱器不穩(wěn)定，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤，O2濃度上/下限，超限
串口通信	RS-232，38400 bps
標(biāo)定方法	（1）3點(diǎn): 10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點(diǎn)，（4）空氣標(biāo)定
暖機(jī)時(shí)間	20分以內(nèi)
電源	100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
功耗	100～120V AC，200VA 最大，220～240V AC，400 VA 最大
尺寸	213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質(zhì)量	約5kg
管線連接	氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋 氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件	安裝條件: 室內(nèi)，盤裝或壁裝，非易燃區(qū)域 環(huán)境溫度: 0～40℃，無結(jié)露 環(huán)境濕度: 5～85%RH 儲(chǔ)存溫度: -5～50℃
符合的安全標(biāo)準(zhǔn) 和EMC標(biāo)準(zhǔn)	安全標(biāo)準(zhǔn): 61010-1:2001 EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3

特性：

重復(fù)性	±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或100%）
線性	±2%F.S. ±3%F.S.（0~100ppm或更低）
響應(yīng)時(shí)間	90%響應(yīng) 10秒內(nèi)（0~1%或更高） 30秒內(nèi)（小于0~1%）
漂移	±2%F.S./周

(同系列產(chǎn)品：ZR202G一體型氧化鋯氧分析儀、ZR22G/ZR402G分體型氧化鋯氧分析儀、ZR22S/ZR202S防爆型氧化鋯氧分析儀、AV550G氧化鋯氧分析儀平均轉(zhuǎn)換器、OX400低濃度氧化鋯氧分析儀、MG8G磁氧分析儀(通用型)、MG8E磁氧分析儀(防爆型)、OX100限流型氧分析儀、OX102限流型氧分析儀）